Sistem de pulverizare cu magnetron

VON ARDENNE VISS 300

Oferim o instalație verticală de pulverizare catodică (sputtering) second-hand, model ARDENNE VISS 300.

Instalația datează din anul 2002 și a fost extinsă în 2016 cu o a treia cameră.

Instalația este dotată cu o cameră de compensare și cu cele 3 camere echipate cu unități de pulverizare catodică cu magnetron SSM750RF de la Ardenne.

La aceasta se adaugă un generator de la Trumpf Hüttinger PFG2500RF.

De asemenea, există o sursă de pulverizare catodică dublă cu magnetron, care nu este instalată în prezent, împreună cu unitatea de control corespunzătoare de la Astral.

Există un dispozitiv de reglare a temperaturii pentru unul dintre cele două circuite de răcire, pentru a menține o temperatură constantă, de exemplu, de 38°C, precum și 2 unități de răcire externe cu schimbătoare de căldură.

Bwedpfx Aqozp Ep Telsr
În camere s-au pulverizat oxid de zinc (ZnO) și sulfură de zinc (ZnS).

Instalația a fost utilizată până la sfârșitul lunii mai 2026 și a fost oprită fără a prezenta defecțiuni.

Instalația a fost întreținută în mod regulat de operator și se află într-o stare foarte bună.

Înainte de livrare, vom efectua verificarea și întreținerea tuturor pompelor de pre-vid și a pompelor turbo (înlocuirea rulmenților).

La cerere, se poate solicita o operațiune de asamblare și punere în funcțiune la locația dumneavoastră.

Dacă sunteți interesat de această instalație, vă stăm la dispoziție pentru orice întrebări suplimentare.

Anunțul a fost tradus automat. Pot exista erori de traducere.