Instalaţie de tratare umedă pentru wafer
Robotechnik Europe OPTIwet ST30

Name: Robotechnik Europe OPTIwet ST30
Brand: Robotechnik Europe
Availability: InStock

Stare

Utilizat

Locație

Germania

Instalaţie de tratare umedă pentru wafer Robotechnik Europe OPTIwet ST30

Afișează harta

Date despre utilaj

Denumirea mașinii:: Instalaţie de tratare umedă pentru wafer

Producător:: Robotechnik Europe

Model:: OPTIwet ST30

Stare:: gata de utilizare (folosit)

Preț și locație

Locație:: Deutschland

Sunați

Detalii despre ofertă

ID anunț:: A20618495

Număr de referință:: INNO30389

Actualizare:: ultima dată la 26.11.2025

Descriere

Instalație pentru tratare chimică umedă a waferilor până la 12 inchi, substraturi până la X/Y 9 in/9 in, carcasă independentă, module de proces, cameră de proces din polipropilenă, 2 brațe de medii programabile, viteză de rotație 1-4000 rpm, rampă de accelerație 1-3000 rpm, timp de spin 1-999 s, evacuare proces bowl 2x DN110, cameră 2x DN110, carcasă 1x DN110, control 1x DN110 (fiecare 200 m³/h), CDA 8+/-2 bar, vacuum -0,8+/-0,2 bar, azot 4,0+/-0,5 bar, 3 scurgeri de medii, container deșeuri pentru 2 tipuri de concentrate reziduale, cutie pentru reactivi cu recipient sub presiune, 4 băi termostatice Julabo. Instalația a fost demontată la dezafectare. Vizionare posibilă la cerere.
Bodpfx Asxzii Usfcswi

Anunțul a fost tradus automat. Pot exista erori de traducere.